硅壓阻式充油壓力芯體（擴散硅壓力傳感器）技術(shù)特點

硅壓阻式充油壓力芯體是制造壓力傳感器與變送器的核心芯體,作為一種高性能的敏感元件，可以很方便地進行信號放大處理，裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號輸出的變送器，廣泛地用于石油、化工、冶金、電力、電子系統(tǒng)、航天航空、醫(yī)療、化工、汽車、機電設(shè)備等行業(yè)的過程控制。

硅壓阻式充油芯體（擴散硅壓力傳感器）技術(shù)特點：

1、靈敏度高

擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辨率。

2、精度高

擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線性也非常好，因此綜合表態(tài)精度很高。

3、可靠性高

擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級，膜片zui大位移量在來微米數(shù)量級，且無機械磨損、無疲勞、無老化。平均時間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

5、溫度性能好

隨著集成工藝技術(shù)進步，擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高，原始的手工補償已被激光調(diào)阻、 計算機自動修整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達10-5/°C數(shù)量級，工作溫度也大幅度提高。

6、抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。

7、耐腐蝕性好

由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，也能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點，可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品，具有*良的性能價格比。