真空壓力計專門用于測量低于大氣壓的負壓環(huán)境,其測量范圍可從粗真空延伸至超高真空。它不僅是真空系統(tǒng)的“眼睛”,更是工藝控制的“神經(jīng)末梢”。
真空壓力計的精準感知能力源于多個精密部件的協(xié)同運作,將無形的真空壓力轉(zhuǎn)化為可讀的電信號或機械指示,在微觀氣壓世界中精準破譯。

1、傳感器元件
根據(jù)測量原理不同,核心部件各異:
壓阻式:采用硅基MEMS芯片,利用壓敏電阻隨壓力變化的特性,將形變轉(zhuǎn)化為電阻變化,適用于中低真空(10?–10??Pa),響應(yīng)快、體積小。
電容式:通過測量金屬膜片與固定電極間電容變化來感知壓力,精度高、穩(wěn)定性好,廣泛用于精密真空系統(tǒng)。
電離式(熱陰極/冷陰極):在高/超高真空下,通過測量氣體電離電流來間接反映壓力,適用于10??–10???Pa,是真空設(shè)備的“守門人”。
皮拉尼計:利用熱絲電阻隨氣體熱導(dǎo)率變化的原理,測量中真空(10??–10?Pa),結(jié)構(gòu)簡單、成本低。
2、壓力接口
標準接口(如KF、ISO、NPT螺紋)用于連接真空腔體或管道。材質(zhì)多為不銹鋼,確保氣密性與耐腐蝕性。部分型號帶截止閥,便于維護時隔離系統(tǒng)。
3、信號處理電路
將傳感器輸出的微弱信號(mV級)進行放大、線性化、溫度補償和數(shù)字化處理。內(nèi)置微處理器可實現(xiàn):
單位轉(zhuǎn)換(Pa、mbar、Torr等);
零點與量程校準;
報警閾值設(shè)定。
4、顯示單元
數(shù)字顯示屏:LCD或OLED,實時顯示壓力值、單位、狀態(tài)、報警信息;
模擬指針表(機械式):通過波登管或膜盒驅(qū)動指針,無需電源,用于簡單監(jiān)控。
5、輸出模塊
模擬輸出:4–20mA或0–10V,接入PLC或DCS系統(tǒng);
數(shù)字通信:RS485、Modbus、Profibus、Ethernet,支持遠程監(jiān)控與組網(wǎng);
繼電器輸出:用于觸發(fā)真空泵啟停、報警燈等。
6、外殼與防護
材質(zhì):鋁合金或不銹鋼,防塵、防腐、抗電磁干擾;
防護等級:IP65或更高,適應(yīng)工業(yè)環(huán)境;
冷卻設(shè)計:高功率型號帶散熱片或風(fēng)扇,防止過熱。
7、電源模塊
提供穩(wěn)定直流或交流電源(如24VDC、220VAC),內(nèi)置穩(wěn)壓與過載保護電路。
8、溫度傳感器
內(nèi)置NTC或Pt100,實時監(jiān)測傳感器溫度,用于補償因環(huán)境溫度變化引起的測量誤差。
9、自診斷系統(tǒng)
自動檢測傳感器狀態(tài)、電路故障、通信中斷,并在顯示屏或上位機發(fā)出報警。
10、安裝支架與減震墊
確保儀表牢固安裝,減少振動對測量精度的影響。